整片 TOPCON自动化
链氧去PSG碱抛自动化
本设备自动化主要用于电池厂，对接链氧工艺机台，自动上料自动化生产线；以及去PSG质检缓存机，可缓存链氧硅片数量；去PGS出料硅片装入花篮，并将花篮搬至碱抛工艺机台内；碱抛下料将花篮垂直放置料道内，对接AGV小车对接以及对接信号处理。
设备功能
本设备自动化主要用于电池厂，对接链氧工艺机台，自动上料自动化生产线；以及去PSG质检缓存机，可缓存链氧硅片数量；去PGS出料硅片装入花篮，并将花篮搬至碱抛工艺机台内；碱抛下料将花篮垂直放置料道内，对接AGV小车对接以及对接信号处理。
设备参数
| 项目 | 参数 | 备注 |
| 硅片规格 | 210*210mm | 兼容180*180mm-230*230mm |
| 硅片厚度 | 150-220um | |
| 产能 | ≥9000片/小时 | |
| 上下料花篮 | 上料配置有翻片器，可自行选择开启或屏蔽 | 下料配置有收片buffer，进buffer不得产生碎片 |
| 碎片率 | ≤0.02% | 持续1个月计算（1%包含维护，异常停机、换液） |
| 开机率 | ≥99% | |
| 其他 | yle="width:1113px;"> 适用于链式8道等设备（210），去PSG下料与碱抛机器人之间有可进入的人员操作空间 | |
PS：此机构包含链氧上料+链氧后缓存+去PSG下料+碱抛机器人上料+碱抛下料直立机，缓存数量不低于链氧机台内的硅片数量，花篮缓存数量不低于5+2；
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