IGV小车将花篮转运至花篮输送段，机器人将花篮搬运至移载机构并传输至插取片位，经由龙门移载或六轴机器人，并搭配精密吸盘机构与智能控制系统及安全防护机制，将硅片取出插入石英舟并搬运至工艺机。反之，工艺完成后，从石英舟中取出硅片插入花篮并运转下道工序。该设备专为ALD原子层沉积工艺设计，可实现硅片在石英舟与花篮之间的精准转换，确保ALD工艺的高效稳定运行。