AGV小车将来料花篮经皮带线输送至花篮提升机构，硅片通过硅片跑道传送至变截距机构;由机器人将硅片从变距机构取出，置入待工艺石墨舟，完成自动上料。下料时，机器人从已完成工艺的石墨舟中取片，放回变距机构，硅片经跑道输送入花篮，实现自动下料。该设备专为管式PECVD工艺设计，可实现硅片在花篮与石墨舟之间的精准转换，确保镀膜工艺的高效稳定运行。