自动将花篮内的硅片取出，经检测机构检测，通过相机拍照定位载板穴位与硅片位置，经过高精度纠偏机器人将硅片放置在载板穴位内。该设备专为PVD物理气相沉积工艺设计，可实现硅片从花篮到载板的精准转换，确保PVD镀膜工艺的高效稳定运行，是光伏电池TCO镀膜工序的关键自动化装备。