IGV小车将花篮转运至花篮输送段，机器人将花篮搬运至移载机构并传输至插取片位，经由龙门移载或六轴机器人，并搭配精密吸盘机构与智能控制系统及安全防护机制，将硅片取出插入石英舟并搬运至工艺机。反之，工艺完成后，从石英舟中取出硅片插入花篮并运转下道工序。该设备可广泛应用于硼扩、氧化、退火、磷扩、LP等多种高温工艺，实现硅片的自动化上下料作业。